國內(nèi)氮化硅粉生產(chǎn)及發(fā)展形勢

      雖然我國也生產(chǎn)氮化硅，氮化硅粉及其它相關(guān)產(chǎn)品，但是在技術(shù)方面還有待提高。我國在生產(chǎn)氮化硅方面上存在以上幾點不足，由大顆粒氮化硅，多相粉體燒結(jié)制備，脆性大，均勻性差，可靠性低，韌性和強度差。

      而硅粉直接氮化法制備氮化硅粉體要求氮氣壓力必須足夠高，以實現(xiàn)硅與氮氣的充分接觸。一般燃燒合成的氮化硅粉的氮氣壓力低限是3MPa，但有時高達(dá)100MPa以上。采用高壓合成工藝不僅因設(shè)備投資高而且增加了生產(chǎn)成本，同時也組生產(chǎn)帶來了安全隱患。從國內(nèi)外氮化硅粉體的指標(biāo)測試和試燒結(jié)果看來，國內(nèi)生產(chǎn)的氮化硅粉平均顆粒在3微米左右，金屬雜質(zhì)含量較高，難以達(dá)到合格產(chǎn)品要求，而進(jìn)口的氮化硅粉為0.7微米以下。因此，為滿足市場需求，工業(yè)化生產(chǎn)超微，高質(zhì)量的氮化硅粉是國內(nèi)氮化硅行業(yè)發(fā)展中要解決的難題，刻不容緩。